2021年3月28日，湘潭大学“智能碳材料与先进传感”湖南省重点实验室成立，“智能碳材料与先进传感”湖南省重点实验室将依托湘潭大学湖南省先进传感与信息技术创新平台，充分发挥在碳基集成电路技术领域的先导性技术优势，致力于研发高纯度高密度顺排碳材料，并发展集成化智能化碳基传感技术；在碳基电子器件、新型传感器及其系统等方向上取得系列原创性成果；目标建成先进碳材料与智能碳基传感器研究的一流创新平台，引领碳基传感器件及其技术创新，推动湖南相关创新型产业发展，使我省在国内上占据下一代信息技术创新的战略制高点。

实验室总面积约5000平方米，按其功能划分为微纳加工实验区、个性实验区和办公区三部分，其中微纳加工实验区约1500平米，包括中控室、会议室、参观走廊和900平米的含百级、千级、万级实验区的超净公共实验室。个性实验区面积约1000平米，包括已建成在运行的微纳器件仿真与设计、低维半导体材料与微纳传感器件、微纳气湿敏传感器芯片、生物芯片及微流控技术创新、柔性电子材料与器件、低维材料与微型储能器件六大个性实验室以及新增规划建设的生物细胞培养实验室和生物芯片校企联合实验室。

组织结构

本实验室为相对独立的研究机构，隶属于湘潭大学。实验室人员由湖南先进传感与信息技术创新研究院的相关教师组成。实验室设立学术委员会，由11人组成，设主任1人，副主任2人，秘书1人。其任务是确立实验室的发展方向，制订《课题指南》，审批研究课题，评审科技成果，讨论审议实验室经费计划和重大学术活动等。实验室实行学术委员会指导下的主任负责制，实验室主任的职责是负责实验室的全面工作，包括人员聘任、仪器设备管理、人才培养、科学研究、财务开支和行政管理等，并接受实验室全体人员的监督。实验室实行任期聘任制和岗位责任制，实验室全体人员应能胜任岗位工作。

仪器设备

实验室具备完善的微纳加工及表征测试设备，形成配置齐全、科学规范、运行有效的实验室体系，能够满足纳米材料/微纳器件加工和测试、集成电路制备、先进传感器制备和测试等领域的研究需求。

热场发射扫描电子显微镜(型号：Sigma 500)                             原子层沉积系统ALD(型号：ALD-T200Q)

磁控溅射薄膜沉积系统（型号：DE500）                                            电子束镀膜仪（DE400DHL）

LCCP反应离子刻蚀机(型号：*/HAASRODE-R200A)                       原子力显微镜(型号：*/Dimension XR)

探针台/半导体分析仪(*/EPS150RF*/Keithley 4200A-SCS)        纯水机(型号：*/Milli-Q Integral 3一体化系统)

激光直写光刻机(型号：*/microwriter ml 3)                               紫外光刻机(型号：EVG-610NTGen2)