题 目：基于MEMS芯片的材料性能分析技术及创新科学分析仪器

报告人：于海涛博士/研究员，中国科学院上海微系统与信息技术研究所

主持人：曹觉先教授/博士生导师，湖南先进传感与信息技术创新研究院副院长

报告摘要：MEMS谐振式悬臂梁是一种利用其谐振频率变化与质量变化之间的定量关系来测量微小质量的工具，是目前世界上最灵敏的“天平”。基于MEMS谐振式微悬臂可以实时测量微小质量变化的特性，我们开发了一款创新性的科学分析仪器——MEMS芯片式分子吸附分析仪。该仪器利用首创的“变温实验范式”，可以一次性获取功能材料与气体分子发生表界面作用时的全套热力学/动力学参数，可以实现对材料吸附性能本质上的评估。另外，通过在MEMS谐振式微悬臂梁上集成加热元件，研制出了具备片上定域高温自加热功能的微悬臂梁，并基于该创新芯片开发了MEMS芯片式热重分析仪。该仪器与传统热重分析仪相比，在体积、准确性、测试时间、样品消耗等方面更具优势。

报告人简介：于海清，中科院上海微系统与信息技术研究所研究员，分别于北京大学和中科院上海微系统所获学士和博士学位，入选中科院青年创新促进会会员，全国气湿敏专业委员会委员。主要研究兴趣集中在谐振MEMS传感芯片领域，曾作为项目负责人承担国家自然科学基金项目多项，参与包括973、863、自然科学基金重大科研仪器项目等多项，于Nano Lett.、Anal. Chem.等领域高水平期刊和IEEE MEMS等领域顶级国际会议上发表论文70余篇，授权国家发明专利10余项，PCT国际专利3项，参与编写专著1本，编写国家标准1项，并有多个专利获得产业化转让。2020年，创立了厦门海恩迈科技有限公司并获得干万元级别天使轮投资，主要从事基于谐振MEMS技术的创新科学仪器的研发、制造与销售，已服务于清华大学、复旦大学、中科院福建物构所等十几所国内知名高校与研究所，推动其创新成果在国际知名期刊如ANGEW、Nano Lett.等的发表。

时 间:2022年8月8日(周一)上午1:00-12:00

地 点:工训中心2栋402会议室

腾讯会议:726-7336-5860

欢迎广大师生参加！

湖南先进传感与信息技术创新研究院

2022年8月7日