学术讲座:新型SOI器件辐射损伤机理研究

2021-10-12    点击:

题 目:新型SOI器件辐射损伤机理研究

主讲人:李 博 研究员

中科院硅器件技术重点实验室副主任

主持人:曹觉先 教授 博士生导师

湖南先进传感与信息技术创新研究院副院长

时 间:2021年10月13日(星期三)上午9:00

地 点:工程训练中心2号楼402会议室

报告人简介:李博,博士,研究员,中科院硅器件技术重点实验室副主任,中科院微电子研究所硅器件中心副主任,主要从事抗辐照器件技术研究工作。中科院青年创新促进会优秀会员,《现代应用物理》青年编委,欧洲辐射效应大会RADECS2021奖励委员会委员,“十四五”高技术元器件领域指南专家,IEEE TNS、IEEE TII等16本国内外著名期刊审稿人,出版科技图书3本,发表论文72篇,申请专利21项,承担国家和省部级项目(课题)15项。

报告摘要:基于全耗尽绝缘体上硅(Fully Depleted Silicon-on-Insulator,FDSOI)工艺,引入“可配置绝缘体上硅(Configurable-SOI,CSOI)”结构,通过在隐埋氧化层(BOX)下方引入独立的电极(配置层),可以实现对器件性能的有效控制。相比于传统FDSOI结构,CSOI结构具有背栅偏置调控范围大、调控粒度小等优点。此外,该结构还具有更少的PN结数量,因此拥有优于FDSOI的抗单粒子效应能力。基于CSOI结构可制作三维器件、X射线像素探测器等,研究成果可应用于深空探测、高能物理、武器无损探伤等领域。

湖南先进传感与信息技术创新研究院

2021年10月12日

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