一、 个性实验室名称
气湿敏传感器芯片实验室
二、 实验室负责人及联系方式
张勇18627328017
三、 实验室功能介绍
气湿敏传感器芯片实验室拥有了完善的敏感功能材料制备、传感器芯片制作及气湿敏性能测试等相关仪器设备，可实现与半导体工艺相兼容的气敏栅极材料制备工艺、气体/湿度传感器件的打印工艺及MOS型气湿敏传感器芯片的测试功能，已形成气湿敏传感器芯片的研发能力。
四、 仪器平台介绍
1. 微纳传感器件物理沉积平台：微纳传感器件物理沉积平台可将纳米材料通过物理作用形成皮升级别的微小液滴，利用打印的方式，在多种基底上物理沉积功能材料，可实现材料精密打印、喷射分析和流体开发等功能。
2. 环境可控探针测试平台：环境可控探针测试平台可用于微米级FET型气湿敏传感器芯片在模拟各应用环境下的性能测试及综合特性分析。
3. 气液配气系统：气液配气系统适用于直接使用各类气体或液体气源的动态配气。既可单独进行湿度控制，也可用于配置不同湿度的各种气体，所配置气体浓度最低可达ppb级别。
五、实验室安全守则
1.必须熟悉实验室及周围环境。如水阀、电闸、安全门及室外水源的位置。
2.实验进行时，不得随便离开岗位，要密切注意实验的进展情况。
3.进行喷墨打印及气敏测试实验时，要根据实验情况采取必要的安全措施，如戴防护眼镜、防毒面罩、橡胶手套等。
4.使用易燃易爆化学试剂时，应远离火源，戴防护眼镜、防护手套等。
5.实验用化学试剂不得入口，严禁在实验室内吸烟或饮食。实验结束后要细心洗手并及时清理残余垃圾。
6.做易污染环境的实验时应在通风橱内操作。
7.热板加热升温时严禁触碰。
8.各种气体钢瓶用毕或临时中断，都应立即关闭阀门，若发现漏气或气阀失灵，应停止实验，立即检查并修复。禁止实验室内存在火种。
9.使用电器时，谨防触电。不要在通电时用湿手和物接触电器或电插销。实验完毕，应将电器的电源切断。
10.进入实验室的人员需穿防护服，离开实验室时须换掉防护服。
11.实验所产生的化学废液应按有机、无机和剧毒等分类收集存放，严禁倒入下水道。
12.易燃、易爆、剧毒化学试剂和高压气瓶要严格按有关规定领用、存放、和保管。
13.实验室内严禁会客、喧哗；严禁私配和外借实验室钥匙。
14.值日生或最后离开实验室的人员都应检查水阀、电闸，关闭门、窗、水、电、气后才能离开实验室。
六、代表成果
[1] 张勇、谭俊江、辛欣，一种基于MoS2-PbS复合材料的室温NO2气体传感器及其制备方法，中国，国家发明专利，授权日：2021，ZL 201810604463.7
[2] X.Q Chen, J.Y. Hu, P. Chen, M.Q. Yin, F.P. Meng, Y. Zhang∗, UV-light-assisted NO2 gas sensor based on WS2/PbS heterostructures with full recoverability and reliable anti-humidity ability, Sensors and Actuators B-Chemical, 2021, 339: 129902.
[3] Y. Zhang*, J.X. Ren, Y.W. Wu, X.L. Zhong*, T. Luo, J.X. Cao*, M.Q. Yin, M.P. Huang, Z.Y. Zhang, Application of moisture-induced discoloration material Nickel(II) iodide in humidity detection, Sensors and Actuators B-Chemical, 2020, 309: 127769.
[4] X. Xin, Y. Zhang*, X.X. Guan, J.X. Cao*, W.L. Li, X. Long, X. Tan, Enhanced performances of PbS quantum-dots-modified MoS2 composite for NO2 detection at room temperature, ACS Applied Materials & Interfaces, 2019,11: 9438-9447.
[5] Y. Zhang*, H.F. Zou, J.F. Peng, Z.H. Duan, M. Ma, X. Xin, W.L. Li, X.J. Zheng, Enhanced humidity sensing properties of SmFeO3-modified MoS2 nanocomposites based on the synergistic effect, Sensors and Actuators B-Chemical, 2018, 272: 459-467.
